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超支化聚酯微光学光刻胶
更新时间：2026-10-01
科技成果来源：湛江科技成果库;地区：广东-湛江;
科技成果名称：超支化聚酯微光学光刻胶
成果成熟度/阶段：可以量产
成果专利情况：发明专利
专利号：ZL200910214063.6
成果情况介绍：
一种超支化聚酯微光学光刻胶，由超支化碱溶性感光聚合物，活性稀释剂、交联剂、光引发剂以及助剂等组成，超支化聚酯微光学光刻胶其感光性能、刻蚀性能、线性范围等可通过超支化聚合物结构、超支化聚合物分子末端的官能团及光刻胶配方进行调节。本发明的光刻胶配制容易、理化性能可调性大，可用水性显影剂显影，因而使用中对环境影响小，同时光刻胶感光度、图像清晰度高，刻蚀深度大，并有独特的线性刻蚀性能。尤其适合微光学元件的光刻加工。
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