可左右滑动选省市

掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板

更新时间:2024-07-01
掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板 专利申请类型:实用新型专利;
源自:北京高价值专利检索信息库;

专利名称:掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板

专利类型:实用新型专利

专利申请号:CN202210567917.4

专利申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
权利人地址:北京市朝阳区酒仙桥路10号

专利发明(设计)人:黄世雄,陈军涛,谢涛峰,黄倍慈

专利摘要:本申请实施例提供了一种掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板,掩膜版组件应用于制作显示面板母板,显示面板母板包括多个显示面板,掩膜版组件包括开口掩膜版,开口掩膜版包括第一框架和第一主体部,第一主体部与第一框架固定连接,第一主体部包括相互平行设置的多个第一掩膜条,以及相互平行设置的多个第二掩膜条,多个第一掩膜条及多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区,多个第一开口区用于与多个显示面板中的显示区对应设置。本申请实施例提供的掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板,可以减小显示面板的边框尺寸,提高显示面板的屏占比。

主权利要求:
1.一种掩膜版组件的制作方法,其特征在于,用于制作掩膜版组件,
所述掩膜版组件应用于制作显示面板母板,所述显示面板母板包括多个显示面板,所述掩膜版组件包括开口掩膜版和阴极掩膜版,所述开口掩膜版与所述阴极掩膜版固定连接,所述开口掩膜版包括:第一框架;
第一主体部,所述第一主体部与所述第一框架固定连接,所述第一主体部包括相互平行设置的多个第一掩膜条,以及相互平行设置的多个第二掩膜条,所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区,所述多个第一开口区用于与所述多个显示面板中的显示区对应设置,所述第一掩膜条及所述第二掩膜条在张网拉伸前呈曲线状;所述阴极掩膜版包括:第二框架;
第二主体部,所述第二主体部与所述第二框架固定连接,所述第二主体部包括相互平行设置的多个第三掩膜条,以及相互平行设置的多个第四掩膜条,所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区,沿垂直于所述开口掩膜版的方向上,所述多个第一开口区的正投影落入所述多个第二开口区的正投影内,所述第三掩膜条及所述第四掩膜条在张网拉伸前呈曲线状;
所述方法包括:
提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条,所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条呈曲线状,对张网拉伸前的所述开口掩膜版进行非线性补偿,所述开口掩膜版长边方向上的不同区域及短边方向上的不同区域分别设置不同的补偿值,使张网拉伸前的所述第一主体部呈内部凹陷状,不同位置的补偿值根据所述开口掩膜版张网拉伸过程中不同位置的变形量设定,所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条交叉设置;
提供一第一框架;
对所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条进行张网拉伸,张网拉伸后的所述第一掩膜条及所述第二掩膜条呈直线状,以降低所述开口掩膜版在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值,并连接所述多个第一掩膜条与所述第一框架,以及连接所述多个第二掩膜条与所述第一框架,得到开口掩膜版,张网拉伸后的所述多个第一掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第二掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第一掩膜条及张网拉伸后的所述多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区,所述多个第一开口区用于与所述多个显示面板中的显示区对应设置;
提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条,所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条呈曲线状,使张网拉伸前的所述第二主体部呈内部凹陷状;所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条交叉设置;
提供一第二框架;
对所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条进行张网拉伸,张网拉伸后的所述第三掩膜条及所述第四掩膜条呈直线状,以降低所述阴极掩膜版在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值,并连接所述多个第三掩膜条与所述第二框架,以及连接所述多个第四掩膜条与所述第二框架,得到阴极掩膜版,张网拉伸后的所述多个第三掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第四掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第三掩膜条及张网拉伸后的所述多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区,沿垂直于所述开口掩膜版的方向上,所述多个第一开口区的正投影落入所述多个第二开口区的正投影内;
提供一阴极掩膜版,固定连接所述阴极掩膜版及所述开口掩膜版得到所述掩膜版组件;
所述提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条的步骤,包括:
提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条,针对每一第一掩膜条及第二掩膜条,对所述第一掩膜条及所述第二掩膜条进行非线性补偿使所述第一掩膜条及所述第二掩膜条呈曲线状;
所述提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条的步骤,包括:
提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条,针对每一第三掩膜条及第四掩膜条,对所述第三掩膜条及所述第四掩膜条进行非线性补偿使所述第三掩膜条及所述第四掩膜条呈曲线状。
2.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板通过如权利要求1所述的掩膜版组件制作的显示面板母板切割而成。 说明书 : 掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板技术领域[0001] 本申请涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板。背景技术[0002] 本部分提供的仅仅是与本申请相关的背景信息,其并不必然是现有技术。[0003] 随着显示技术的不断发展,用户对大屏显示设备的需求越来越大,因此,要求OLED显示面板具有较高的屏占比,以使其具有更好的显示效果。显示面板的屏占比与显示面板制作过程中使用的掩膜版息息相关。通常情况下,掩膜版由掩膜版主体和框架(Frame)组成。掩膜版组装的关键步骤是将掩膜版本体拉伸并焊接在框架上,这个过程一般称为张网。[0004] 相关技术中,张网拉伸后的掩膜版的精度不易控制,为保证掩膜版在张网拉伸后的像素位置精度,需要在显示面板的显示区及封装区之间为掩膜版预留较大的变形区域,使得显示面板需要预留较宽的周边区,不利于显示面板的窄边框设计,影响显示面板的屏占比。发明内容[0005] 本申请实施例的目的在于提供一种掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板。以减小显示面板的边框尺寸,提高显示面板的屏占比。具体技术方案如下:[0006] 本申请第一方面的实施例提供了一种掩膜版组件,应用于制作显示面板母板,所述显示面板母板包括多个显示面板,所述掩膜版组件包括开口掩膜版,所述开口掩膜版包括第一框架和第一主体部,所述第一主体部与所述第一框架固定连接,所述第一主体部包括相互平行设置的多个第一掩膜条,以及相互平行设置的多个第二掩膜条,所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区,所述多个第一开口区用于与所述多个显示面板中的显示区对应设置。[0007] 一些实施例中,所述第一框架及所述第一开口区的形状呈矩形。[0008] 一些实施例中,所述第一框架和所述第一主体部的连接方式包括焊接连接。[0009] 一些实施例中,所述掩膜版组件还包括阴极掩膜版,所述开口掩膜版与所述阴极掩膜版连接。[0010] 一些实施例中,所述阴极掩膜版包括第二框架和第二主体部,所述第二主体部与所述第二框架固定连接,所述第二主体部包括相互平行设置的多个第三掩膜条,以及相互平行设置的多个第四掩膜条,所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区,沿垂直于所述开口掩膜版的方向上,所述多个第一开口区的正投影落入所述多个第二开口区的正投影内。[0011] 本申请第二方面的实施例提供了一种掩膜版组件的制作方法,所述方法包括:[0012] 提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条,所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条呈曲线状,所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条交叉设置;[0013] 提供一第一框架;[0014] 对所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条进行张网拉伸,并连接所述多个第一掩膜条与所述第一框架,以及连接所述多个第二掩膜条与所述第一框架,得到开口掩膜版,张网拉伸后的所述多个第一掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第二掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第一掩膜条及张网拉伸后的所述多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区,所述多个第一开口区用于与所述多个显示面板中的显示区对应设置;[0015] 通过所述开口掩膜版形成掩膜版组件。[0016] 一些实施例中,所述提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条的步骤,包括:[0017] 提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条,针对每一第一掩膜条及第二掩膜条,对所述第一掩膜条及所述第二掩膜条进行非线性补偿使所述第一掩膜条及所述第二掩膜条呈曲线状。[0018] 一些实施例中,通过所述开口掩膜版形成掩膜版组件的步骤,包括:提供一阴极掩膜版,固定连接所述阴极掩膜版及所述开口掩膜版得到所述掩膜版组件。[0019] 一些实施例中,在提供一阴极掩膜版之前,所述步骤还包括:[0020] 提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条,所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条呈曲线状,所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条交叉设置;[0021] 提供一第二框架;[0022] 对所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条进行张网拉伸,并连接所述多个第三掩膜条与所述第二框架,以及连接所述多个第四掩膜条与所述第二框架,得到阴极掩膜版,张网拉伸后的所述多个第三掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第四掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的所述多个第三掩膜条及张网拉伸后的所述多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区,沿垂直于所述开口掩膜版的方向上,所述多个第一开口区的正投影落入所述多个第二开口区的正投影内。[0023] 本申请第三方面的实施例提供了一种显示面板,所述显示面板通过如上述中任一所述的掩膜版组件制作而成的显示面板母板切割而成。[0024] 本申请实施例有益效果:[0025] 本申请实施例中,掩膜版组件包括第一框架及与第一框架固定连接的第一主体部,第一主体部包括多个第一掩膜条及多个第二掩膜条,且多个第一掩膜条相互平行设置,且多个第二掩膜条相互平行设置,即张网拉伸后的开口掩膜版中多个第一掩膜条及多个第二掩膜条均呈直线状,且多个第一掩膜条及多个第二掩膜条限定出的第一开口区的各个边缘也呈直线状。第一主体部中每一第一开口区可以与一个显示面板的显示区相对应,围绕该第一开口区设置的第一掩膜条及第二掩膜条可以与围绕显示区的周边区相对应。张网拉伸后的第一掩膜条及第二掩膜条呈直线状,使得张网拉伸过程中,开口掩膜版中变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值减小,使得开口掩膜版的尺寸的变化范围较小,使得周边区为开口掩膜版预留的变形区域的面积较小,从而减小周边区的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。[0026] 当然,实施本申请的任一产品或方法并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。上述说明仅是本申请技术方案的概述,为了能够更清楚了解本申请的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本申请的具体实施方式。附图说明[0027] 为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的实施例。[0028] 图1为相关技术中的一种掩膜版组件的一种结构示意图;[0029] 图2为相关技术中的一种掩膜版组件的另一种结构示意图;[0030] 图3为本申请一些实施例中一种掩膜版组件的一种结构示意图;[0031] 图4为本申请一些实施例中一种掩膜版组件的另一种结构示意图;[0032] 图5为图4中A区域的一种形状变化示意图;[0033] 图6为图2中A’区域的一种形状变化示意图;[0034] 图7为相关技术中的一种掩膜版组件的一种局部结构示意图;[0035] 图8为本申请一些实施例中一种掩膜版组件的一种局部结构示意图;[0036] 图9为相关技术中的一种开口掩膜板的第一主体部X轴的形变量变化示意图;[0037] 图10为相关技术中的一种开口掩膜板的第一主体部Y轴的形变量变化示意图;[0038] 图11为本申请一些实施例中的一种掩膜版组件的制作方法的流程图。[0039] 附图标记:1‑开口掩膜版、110‑第一框架、120‑第一主体部、121‑第一掩膜条、122‑第二掩膜条、123‑第一开口区、130‑第一变形区域、2‑阴极掩膜版、230‑第二变形区域、310‑显示区、320‑封装区、330‑周边区、340‑连接区域、510‑第一状态、520‑理想状态、530‑第二状态。具体实施方式[0040] 下面将结合附图对本申请技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本申请的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本申请的保护范围。[0041] 除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同;本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本申请;本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。[0042] 在本申请实施例的描述中,技术术语“第一”“第二”等仅用于区别不同对象,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量、特定顺序或主次关系。在本申请实施例的描述中,“多个”的含义是两个以上,除非另有明确具体的限定。[0043] 在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。[0044] 在本申请实施例的描述中,术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如A和/或B,可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。另外,本文中字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。[0045] 在本申请实施例的描述中,术语“多个”指的是两个以上(包括两个),同理,“多组”指的是两组以上(包括两组),“多片”指的是两片以上(包括两片)。[0046] 在本申请实施例的描述中,技术术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请实施例的限制。[0047] 在本申请实施例的描述中,除非另有明确的规定和限定,技术术语“安装”“相连”“连接”“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;也可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。[0048] 相关技术中,掩膜版由掩膜版主体和框架组成。以开口掩膜版1’为例,开口掩膜版1’制作过程中,需要对开口掩膜版1’主体进行张网拉伸并将其与第一框架110’焊接。开口掩膜版1’在张网拉伸的过程中可能发生形变,且开口掩膜版1’中各个区域在张网拉伸过程中的形变量可能不同。开口掩膜版1’用于制作显示面板母板中各个显示面板的发光层,为保证张网拉伸后的开口掩膜版1’中的第一开口区123’与每一显示面板的显示区310’对位的精确度,需要在每一显示面板的周边区330’预留开口掩膜版1’的变形区域,变形区域的范围与开口掩膜版1’张网拉伸过程中的变形裕值相关,变形裕值为开口掩膜版1’张网拉伸过程中变形程度最大的区域的变形值及变形程度最小的区域的变形值的差值。相关技术中,如图1和图2所示,开口掩膜版1’的主体部张网拉伸前呈平面状,沿四周方向张网拉伸后呈凸起的曲面状,使得开口掩膜版1’的张网拉伸过程中的变形裕值较大,使得周边区330’的变形区域较大,不利于显示面板的窄边框设计。[0049] 本申请第一方面的实施例提供了一种掩膜版组件,应用于制作显示面板母板,显示面板母板包括多个显示面板,掩膜版组件包括开口掩膜版1,开口掩膜版1包括第一框架110和第一主体部120,第一主体部120与第一框架110固定连接,第一主体部120包括相互平行设置的多个第一掩膜条121,以及相互平行设置的多个第二掩膜条122,多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122交叉设置并限定出多个第一开口区123,多个第一开口区123用于与多个显示面板中的显示区310对应设置。[0050] 本申请实施例中,开口掩膜版1用于制作显示面板中的发光层。具体的,开口掩膜版1可以用于制作发光层中的空穴注入层。[0051] 在本申请实施例提供的掩膜版组件中,掩膜版组件包括第一框架110及与第一框架110固定连接的第一主体部120,第一主体部120包括多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122,多个第一掩膜条121相互平行设置,且多个第二掩膜条122相互平行设置,即张网拉伸后的开口掩膜版1中多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122均呈直线状,且多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122限定出的第一开口区123的各个边缘也呈直线状。第一主体部120中每一第一开口区123可以与一个显示面板的显示区310相对应,围绕该第一开口区123设置的第一掩膜条121及第二掩膜条122可以与围绕显示区310的周边区330相对应。张网拉伸后的第一掩膜条121及第二掩膜条122呈直线状,使得张网拉伸过程中,开口掩膜版1中变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值减小,使得开口掩膜版1的尺寸的变化范围较小,使得周边区330为开口掩膜版1预留的变形区域的面积较小,从而减小周边区330的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。[0052] 具体的,为使第一主体部120拉伸后多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122呈直线状,需要在张网拉伸前,对第一主体部120设定补偿值,使第一主体部120在沿与拉伸方向相反的方向上内缩,使得多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122张网拉伸前呈曲线状,从而使张网拉伸前的第一主体部120呈内部凹陷状,如图3所示。在张网拉伸前,对第一主体部120中多个第一掩膜条121及第二掩膜条122设定补偿值,可使张网拉伸后的第一掩膜条121及第二掩膜条122呈直线状,降低第一主体部120在张网拉伸过程中的各个区域变形量的差值,即降低第一主体部120的变形裕值。[0053] 例如,如图5所示,图5表示开口掩膜版1中区域A张网拉伸前后的变化情况。区域A具有张网拉伸前的第一状态510,张网拉伸后的第二状态530,以及在张网拉伸后的理想状态520。由图3可知,张网拉伸前对区域A进行补偿,使区域A的周边呈曲线状,然后对补偿后的区域A进行张网拉伸,张网拉伸后的区域A的周边呈直线状,且张网拉伸后开口掩膜版1的第二状态530十分接近理想状态520。[0054] 在一个对比例中,如图6所示,图6表示相关技术中一种开口掩膜版1’中区域A’张网拉伸前后的变化情况。区域A’具有张网拉伸前的第一状态510’,张网拉伸后的第二状态530’,以及在张网拉伸后的理想状态520’。对比可知,本申请实施例中,在开口掩膜版1张网拉伸前对开口掩膜版1中的各个区域进行补偿,能够使开口掩膜版1张网拉伸后的精度更加贴近理想状态520,能够降低开口掩膜版1张网拉伸过程中的变形裕值。[0055] 此外,如图8所示,显示面板包括显示区310和围绕显示区310设置的周边区330。周边区330包括第一变形区域130、第二变形区域230及连接区域340。其中,第一变形区域130用于在张网拉伸过程中为开口掩膜版1预留变形区域,第二变形区域230用于在张网拉伸过程中为阴极掩膜版2预留变形区域。第一变形区域130和第二变形区域230之间的连接区域340用于布置显示面板中的走线,如SD走线、Gate走线等。第一变形区域130的范围与开口掩膜版1在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值相关。[0056] 在一个对比例中,如图7所示,相关技术中的一种开口掩膜版1’所制作的显示面板包括显示区310’和围绕显示区310’的周边区330’。周边区330’包括第一变形区域130’、第二变形区域230’及连接区域340’。相对应的,第一变形区域130’用于在张网拉伸过程中为开口掩膜版1’预留变形区域,第二变形区域230’用于在张网拉伸过程中为阴极掩膜版2’预留变形区域。如图7所示,第一变形区域130’的宽度为D1’,即开口掩膜版1’在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值为D1’。[0057] 对比可知,D1的宽度远小于D1’,即本申请实施例中第一变形区域130的范围明显减小,从而可以减小周边区330的宽度D3。因此本申请实施例提供的掩膜版组件中,如图7和图8所示,张网拉伸后的第一掩膜条121及第二掩膜条122呈直线状,可以降低开口掩膜版1在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值,大大减小第一变形区域130的宽度,减小周边区330的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。[0058] 进一步的,显示面板还包括封装区320,为提高显示面板母板切割后,每一显示面板的密封性。周边区330可以为显示面板中显示区310与封装区320之间的区域。[0059] 进一步的,本申请实施例中,开口掩膜版1张网拉伸前的补偿值可以根据开口掩膜版1张网拉伸过程中的变化值确定。例如,若开口掩膜版1在张网拉伸过程中的变化值为80μm至130μm时,补偿值可以为‑80μm至‑130μm,即在张网拉伸前将第一主体部120沿与张网拉伸方向相反的方向上内缩80μm至130μm。[0060] 更进一步的,可以对张网拉伸前的开口掩膜版1进行非线性补偿,即使得开口掩膜版1中各个区域的补偿值不同,针对开口掩膜版1中每一区域设定特定的补偿值,进一步降低开口掩膜版1张网拉伸过程中的变形裕值。[0061] 例如,如图3和图4所示,开口掩膜版1包括短边方向X及长边方向Y,针对长边方向上的不同区域及短边方向上的不同区域分别设置不同的补偿值。此时,不同位置的补偿值可以根据开口掩膜版1张网拉伸过程中不同位置的变形量设定。[0062] 具体的,如图9所示,图9为张网拉伸过程中开口掩膜版1短边方向X上不同区域的变形量示意图。其中,实线线条表示采用第一拉力对开口掩膜版1进行张网,虚线线条为采用第二拉力对开口掩膜版1进行张网。其中,第一拉力小于第二拉力。如图9所示,张网拉伸过程中,开口掩膜版1在短边方向X上30μm处,第一拉力下的变形量为25μm,第二拉力下的变形量为85μm,则本申请实施例中,开口掩膜版1在短边方向X上30μm处的补偿量基于第一拉力下的变形量为25μm,或第二拉力下的变形量为85μm确定。例如,补偿量可以为‑25μm或‑85μm。[0063] 如图10所示,图10为张网拉伸过程中开口掩膜版1长边方向Y上不同区域的变形量示意图。如图10所示,张网拉伸过程中,开口掩膜版1在长边方向Y上100μm处,第一拉力下的变形量为170μm,第二拉力下的变形量为160μm,则本申请实施例中,开口掩膜版1在长边方向Y上100μm处的补偿量基于第一拉力下的变形量为170μm,或第二拉力下的变形量为160μm确定。例如,补偿量可以为‑170μm或‑160μm。[0064] 本申请实施例中,可以优先根据采用第一拉力进行张网的开口掩膜版1的变形量确定补偿值。如图9和图10所示,由于第一拉力小于第二拉力,在采用第一拉力张网拉伸时,开口掩膜版1在短边方向X上的变形量大大降低,有利于开口掩膜版1的精度控制。且在长边方向Y上的变形量增加,可使得张网拉伸后的开口掩膜版1不易于翘边,能够更好的贴合蒸镀工艺设备。进一步的,张网拉伸过程中第一主体部120的变形量较小,在显示面板的制作工艺中可以使开口掩膜版1不易变形,还可以降低第一框架110的下垂量,提高开口掩膜版1的平坦度。[0065] 一些实施例中,如图4所示,第一框架110及第一开口区123的形状呈矩形。[0066] 本申请实施例中,如图4所示,第一框架110以及第一开口区123的形状呈矩形,通过开口掩膜版1制作的显示面板的显示区310形状也大致呈矩形,便于显示基板母板的切割。第一开口区123的形状呈矩形,则张网拉伸后的第一掩膜条121及第二掩膜条122呈直线状,可以使开口掩膜版1在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值减小,减小第一变形区域130的范围D1,减小周边区330的范围D3,从而减小周边区330的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。[0067] 一些实施例中,第一框架110和第一主体部120的连接方式包括焊接连接。[0068] 本申请实施例中,第一框架110和第一主体部120焊接连接,可以提高第一框架110和第一主体部120的连接紧密性,降低开口掩膜版1在张网拉伸过程中,第一主体部120与第一框架110脱离的概率,提高使用该掩膜版组件制作的显示面板良率。[0069] 一些实施例中,掩膜版组件还包括阴极掩膜版2,开口掩膜版1与阴极掩膜版2连接。[0070] 本申请实施例中,开口掩膜版1与阴极掩膜版2连接,开口掩膜版1的变形量降低时,阴极掩膜版2的变形量也会降低,从而提高掩膜版组件的像素位置精度,提高使用该掩膜版组件制作的显示面板良率。[0071] 一些实施例中,阴极掩膜版2包括第二框架和第二主体部,第二主体部与第二框架固定连接,第二主体部包括相互平行设置的多个第三掩膜条,以及相互平行设置的多个第四掩膜条,多个第三掩膜条及多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区,沿垂直于开口掩膜版1的方向上,多个第一开口区123的正投影落入多个第二开口区的正投影内。[0072] 本申请实施例中,阴极掩膜版2用于制作显示面板母板中各个显示面板中的阴极层。多个第一开口区123的正投影落入第二开口区的正投影内,进一步的,每一第一开口区123的正投影面积小于与其对应的第二开口区的正投影面积,以降低制作过程中开口掩膜版1对阴极掩膜版2的影响。阴极掩膜版2包括第二框架及与第二框架固定连接的第二主体部,第二主体部包括多个第三掩膜条及多个第四掩膜条,且多个第三掩膜条相互平行设置,多个第四掩膜条相互平行设置,即张网拉伸后的阴极掩膜版2中多个第三掩膜条及多个第四掩膜条均呈直线状,且多个第三掩膜条及多个第四掩膜条限定出的第二开口区的各个边缘也呈直线状。第二主体部中每一第二开口区可以与一个显示面板的显示区310相对应,围绕第二开口区设置的第三掩膜条及第四掩膜条可以与围绕显示区310的周边区330相对应。张网拉伸后的第三掩膜条及第四掩膜条呈直线状,使得张网拉伸过程中,阴极掩膜版2中变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值减小,使得阴极掩膜版2的尺寸的变化范围较小,使得周边区330为阴极掩膜版2预留的变形区域的面积较小,从而减小周边区330的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。[0073] 具体的,为使第二主体部拉伸后多个第三掩膜条及多个第四掩膜条呈直线状,需要在张网拉伸前,对第二主体部设定补偿值,使第二主体部在沿与拉伸方向相反的方向上内缩,使得多个第三掩膜条及多个第四掩膜条张网拉伸前呈曲线状,从而使张网拉伸前的第二主体部呈内部凹陷状,在张网拉伸前,对第二主体部中多个第三掩膜条及第四掩膜条设定补偿值,可使张网拉伸后的第三掩膜条及第四掩膜条呈直线状,降低第二主体部在张网拉伸过程中的各个区域变形量的差值,即降低第二主体部的变形裕值。[0074] 在一个对比例中,如图7所示,第二变形区域230’的宽度为D2’,即阴极掩膜版2’在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值为D2’。[0075] 对比可知,D2的宽度远小于D2’,即本申请实施例中第二变形区域230的范围明显减小,从而可以减小周边区330的宽度D3。因此本申请实施例提供的掩膜版组件中,如图7和图8所示,张网拉伸后的第三掩膜条及第四掩膜条呈直线状,可以降低阴极掩膜版2在张网拉伸过程中,变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值,大大减小第二变形区域230的宽度D2,减小周边区330的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。其中,阴极掩膜版2中补偿量的确定方式可以与开口掩膜版1补偿量的确定方式大致相同,此处不再赘述。[0076] 本申请第二方面的实施例提供了一种掩膜版组件的制作方法,如图11所示,方法包括:[0077] 步骤S701,提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条,多个第一掩膜条及多个第二掩膜条呈曲线状,多个第一掩膜条及多个第二掩膜条交叉设置;[0078] 步骤S702,提供一第一框架;[0079] 步骤S703,对多个第一掩膜条及多个第二掩膜条进行张网拉伸,并连接多个第一掩膜条与第一框架,以及连接多个第二掩膜条与第一框架,得到开口掩膜版,张网拉伸后的多个第一掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的多个第二掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的多个第一掩膜条及张网拉伸后的多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区,多个第一开口区用于与多个显示面板中的显示区对应设置;[0080] 步骤S704,通过开口掩膜版形成掩膜版组件。[0081] 本申请实施例中,如图4所示,掩膜版组件包括第一框架110及与第一框架110固定连接的第一主体部120,第一主体部120包括多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122,且多个第一掩膜条121相互平行设置,多个第二掩膜条122相互平行设置,即张网拉伸后的开口掩膜版1中多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122均呈直线状,且多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122限定出的第一开口区123的各个边缘也呈直线状。主体部中每一第一开口区123可以与一个显示面板的显示区310相对应,围绕第一开口区123设置的第一掩膜条121及第二掩膜条122可以与围绕显示区310的周边区330相对应。张网拉伸后的第一掩膜条121及第二掩膜条122呈直线状,使得张网拉伸过程中,开口掩膜版1中变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值减小,使得开口掩膜版1的尺寸的变化范围较小,使得周边区330为开口掩膜版1预留的变形区域的面积较小,从而减小周边区330的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。[0082] 一些实施例中,步骤S701可以细化为:提供多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122,针对每一第一掩膜条121及第二掩膜条122,对第一掩膜条121及第二掩膜条122进行非线性补偿使第一掩膜条121及第二掩膜条122呈曲线状。[0083] 本申请实施例中,对张网拉伸前的多个第一掩膜条121及多个第二掩膜条122进行非线性补偿,也就是沿与拉伸方向相反的方向上,使得第一掩膜条121及第二掩膜条122的不同位置内缩特定的补偿值。且第一掩膜条121及第二掩膜条122中各个区域的补偿值不同。进一步的,可采用较小的拉力对开口掩膜版1进行张网,并基于开口掩膜版1在通过较小拉力的张网拉伸过程中,每一区域的变形量确定开口掩膜版1中各个区域的补偿值。对第一掩膜条121及第二掩膜条122进行非线性补偿,针对开口掩膜版1中每一区域设定特定的补偿值,能够进一步降低开口掩膜版1张网拉伸过程中的变形裕值。[0084] 一些实施例中,通过开口掩膜版1形成掩膜版组件的步骤,包括:提供一阴极掩膜版2,固定连接阴极掩膜版2及开口掩膜版1得到掩膜版组件。[0085] 本申请实施例中,开口掩膜版1与阴极掩膜版2连接形成掩膜版组件,连接方式包括嵌套,开口掩膜版1的第一开口区123和阴极掩膜版2的第二开口区共同限定出显示面板的显示区310。[0086] 一些实施例中,在提供一阴极掩膜版2之前,步骤还包括:[0087] 步骤一,提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条,多个第三掩膜条及多个第四掩膜条呈曲线状,多个第三掩膜条及多个第四掩膜条交叉设置;[0088] 步骤二,提供一第二框架;[0089] 步骤三,对多个第三掩膜条及多个第四掩膜条进行张网拉伸,并连接多个第三掩膜条与第二框架,以及连接多个第四掩膜条与第二框架,得到阴极掩膜版2,张网拉伸后的多个第三掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的多个第四掩膜条相互平行设置,张网拉伸后的多个第三掩膜条及张网拉伸后的多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区,沿垂直于开口掩膜版1的方向上,多个第一开口区123的正投影落入多个第二开口区的正投影内。[0090] 本申请实施例中,阴极掩膜版2包括第二框架及与第二框架固定连接的第二主体部,第二主体部包括多个第三掩膜条及多个第四掩膜条,且多个第三掩膜条相互平行设置,且多个第四掩膜条相互平行设置,即张网拉伸后的阴极掩膜版2中多个第三掩膜条及多个第[0091] 四掩膜条均呈直线状,且多个第三掩膜条及多个第四掩膜条限定出的第二开口区的各个边缘也呈直线状。第二主体部中每一第二开口区可以与一个显示面板的显示区310相对应,围绕第二开口区设置的第三掩膜条及第四掩膜条可以与围绕显示区310的周边区330相对应。张网拉伸后的第三掩膜条及第四掩膜条呈直线状,使得张网拉伸过程中,阴极掩膜版2中变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值减小,使得阴极掩膜版2的尺寸的变化范围较小,使得周边区330为阴极掩膜版2预留的变形区域的面积较小,从而减小周边区330的面积,减小显示面板的边框宽度,提高显示面板的屏占比。[0092] 一些实施例中,步骤一可以细化为:提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条,针对每一第三掩膜条及第四掩膜条,对第三掩膜条及第四掩膜条进行非线性补偿使第三掩膜条及第四掩膜条呈曲线状。[0093] 本申请实施例中,对张网拉伸前的多个第三掩膜条及多个第四掩膜条进行非线性补偿,也就是沿与拉伸方向相反的方向上,使得第三掩膜条及第四掩膜条的不同位置内缩特定的补偿值。且第三掩膜条及第四掩膜条中各个区域的补偿值不同。进一步的,可采用较小的拉力对阴极掩膜版2进行张网拉伸,并基于阴极掩膜版2在通过较小拉力的张网拉伸过程中,每一区域的变形量确定阴极掩膜版2中各个区域的补偿值。对第三掩膜条及第四掩膜条进行非线性补偿,针对阴极掩膜版2中每一区域设定特定的补偿值,能够进一步降低阴极掩膜版2张网拉伸过程中的变形裕值。[0094] 本申请第三方面的实施例提供了一种显示面板,显示面板通过如上述中任一所述的掩膜版组件制作而成的显示面板母板切割而成。[0095] 本申请实施例中,显示面板包括但不限于手机、平板电脑、显示器、电视机、画屏、广告屏、电子纸等产品的显示屏。由于显示面板通过如上述中任一所述的掩膜版组件制作而成的显示面板母板切割而成,因此显示面板具有上述掩膜版组件所具有的全部优点。[0096] 最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本申请的权利要求和说明书的范围当中。尤其是,只要不存在结构冲突,各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本申请并不局限于文中公开的特定实施例,而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

专利地区:北京

专利申请日期:2022-05-24

专利公开日期:2024-06-18

专利公告号:CN114934254B

电话咨询
读内容
搜本页
回顶部