一种MEMS惯组免高低温标定方法发明专利

专利名称：一种MEMS惯组免高低温标定方法

专利类型：发明专利

专利申请号：CN202410453873.1

专利申请（专利权）人：贵州航天控制技术有限公司
权利人地址：贵州省贵阳市经济技术开发区红河路7号

专利发明（设计）人：杜晶晶,吴春梅,张双庆,罗小秋,饶兴桥

专利摘要：本发明公开了一种MEMS惯组免高低温标定方法，属于MEMS惯组温度标定技术领域。该方法包括获取MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数、获取MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数，根据MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数和MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数进行MEMS惯组在线补偿得到MEMS惯组加速度通道和角速度通道的惯性量输出。解决了现有MEMS惯组进行标定时需要较长时间的问题。

主权利要求：
1.一种MEMS惯组免高低温标定方法，其特征在于，包括：
S10、根据MEMS惯组加速度通道常温标定模型，获得MEMS惯组加速度通道常温标定参数；
S20、根据加速度计零偏温度模型，获得加速度计零偏温度系数；
S30、根据MEMS惯组加速度通道零偏温度模型，通过所述加速度计零偏温度系数和所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数获得MEMS惯组加速度通道零偏温度系数；
所述MEMS惯组加速度通道零偏温度模型为：
；
式中，DAxs、DAys、DAzs分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏；Xax0s、Xay0s、Xaz0s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；Xax1s、Xay1s、Xaz1s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数；Xax2s、Xay2s、Xaz2s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；T为温度；
所述MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数通过如下公式计算：
；
式中，Xax0s、Xay0s、Xaz0s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；Xax0、Xay0、Xaz0分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的常数项温度系数；DAx、DAy、DAz分别为x轴、y轴、z轴加速度通道零偏；Xax1、Xay1、Xaz1分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的1次项温度系数；Xax2、Xay2、Xaz2分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的2次项温度系数；Tc为加速度通道常温标定时检测得到；
所述MEMS惯组加速度通道的1次项温度系数通过如下公式计算：
；
式中，Xax1s、Xay1s、Xaz1s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数；
Xax1、Xay1、Xaz1分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的1次项温度系数；
所述MEMS惯组加速度通道的2次项温度系数通过如下公式计算：
；
式中，Xax2s、Xay2s、Xaz2s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；
Xax2、Xay2、Xaz2分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的2次项温度系数；
根据所述加速度计零偏温度系数和所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数获得所述MEMS惯组加速度通道零偏温度系数的方法包括以下步骤：检测MEMS惯组加速度通道常温标定时的实时温度Tc；
根据所述温度Tc和所述加速度计的零偏温度模型获取加速度计在温度Tc时的零偏值；
根据所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的加速度通道零偏、所述加速度计零偏温度系数中的加速度计的常数项温度系数、加速度计的1次项温度系数、加速度计的2次项温度系数以及所述加速度计在温度Tc时的零偏值进行计算得到MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；
根据所述加速度计零偏温度系数中的加速度计零偏的1次项温度系数和加速度计零偏的2次项温度系数可直接获得所述MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数和MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；
S40根据所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数和所述MEMS惯组加速度通道零偏温度系数获得MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数；
S50、根据MEMS惯组角速度通道常温标定模型，获得MEMS惯组角速度通道常温标定参数，所述MEMS惯组角速度通道常温标定参数作为MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数；
S60、根据所述MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数和所述MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数进行MEMS惯组在线补偿得到MEMS惯组加速度通道和角速度通道的惯性量输出。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS惯组免高低温标定方法，其特征在于，所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数包括加速度通道标度因数、加速度通道零偏、i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS惯组免高低温标定方法，其特征在于，所述加速度计零偏温度系数包括加速度计零偏的常数项温度系数、加速度计零偏的1次项温度系数、加速度计零偏的2次项温度系数。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS惯组免高低温标定方法，其特征在于，所述MEMS惯组加速度通道零偏温度系数包括MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数。
5.根据权利要求1所述的一种MEMS惯组免高低温标定方法，其特征在于，所述MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数包括所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的加速度通道标度因数、i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差、MEMS惯组加速度通道零偏温度系数中的MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数和MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数。
6.根据权利要求1所述的一种MEMS惯组免高低温标定方法，其特征在于，获取MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数包括建立MEMS惯组角速度通道常温标定模型，根据所述MEMS惯组角速度通道常温标定模型获取MEMS惯组角速度通道常温标定参数作为MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数。
7.根据权利要求1所述的一种MEMS惯组免高低温标定方法，其特征在于，所述MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数包括MEMS惯组角速度通道常温标定参数中的角速度通道标度因数、角速度通道零偏以及i轴角速度通道与j轴角速度通道之间的安装误差。 说明书 : 一种MEMS惯组免高低温标定方法技术领域[0001] 本发明涉及MEMS惯组温度标定补偿技术领域，具体涉及一种MEMS惯组免高低温标定方法。背景技术[0002] MEMS惯组（微机电惯性测量组合）由三轴陀螺和三轴加速度计组成，MEMS（micro‑electro‑mechanicalsystem,微机电系统），MEMS惯组可以测量运动物体的姿态、速度和位置参数，MEMS惯组广泛应用于航天、航空、航海等诸多领域中的导航系统，对于实用化的MEMS惯组，为适应不同领域的应用，一般要求其具有较宽的工作温度范围，系统实际使用时需在‑40℃～60℃的工作温度范围内。然而MEMS惯组对环境温度的变化很敏感，惯组在工作时，惯组内的温度会随着时间不断升高，引起惯性器件标度因数和零偏的变化，因此，有必要采取相应措施来减少温度带来的误差。目前，采用温度模型辨识、软件实时补偿是减弱温度对惯组精度影响的主流方法。[0003] 现有MEMS惯组标定的方案是在全温工作范围选取至少3个温度点进行标定，得到各温度点下加速度通道和角速度通道的标度因数、零偏、安装误差等参数，并对各参数建立温度模型，辨识出各参数的温度系数，再通过软件实时调用各温度系数实现在线温补功能，通常情况下仅完成标定流程就至少需要7小时。该方案虽然能实现惯组的温度补偿，但是标定时间太长，不利于MEMS惯组批量生产。发明内容[0004] 本发明的目的在于为了解决背景技术中至少一个问题，本发明提供一种MEMS惯组免高低温标定方法。[0005] 本发明为了实现上述目的，采用的技术方案如下：[0006] 一种MEMS惯组免高低温标定方法，包括：[0007] S10、根据MEMS惯组加速度通道常温标定模型，获得MEMS惯组加速度通道常温标定参数；[0008] S20、根据加速度计零偏温度模型，获得加速度计零偏温度系数；[0009] S30、根据MEMS惯组加速度通道零偏温度模型，通过所述加速度计零偏温度系数和所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数获得MEMS惯组加速度通道零偏温度系数；[0010] S40、根据所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数和所述MEMS惯组加速度通道零偏温度系数获得MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数；[0011] S50、根据MEMS惯组角速度通道常温标定模型，获得MEMS惯组角速度通道常温标定参数，所述MEMS惯组角速度通道常温标定参数作为MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数；[0012] S60、根据所述MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数和所述MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数进行MEMS惯组在线补偿得到MEMS惯组加速度通道和角速度通道的惯性量输出。[0013] 根据本发明的一个实施例，所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数包括加速度通道标度因数、加速度通道零偏、i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差。[0014] 根据本发明的一个实施例，所述加速度计零偏温度系数包括加速度计零偏的常数项温度系数、加速度计零偏的1次项温度系数、加速度计零偏的2次项温度系数。[0015] 根据本发明的一个实施例，所述MEMS惯组加速度通道零偏温度模型为：[0016] ；[0017] 式中，DAxs、DAys、DAzs分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏；Xax0s、Xay0s、Xaz0s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；Xax1s、Xay1s、Xaz1s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数；Xax2s、Xay2s、Xaz2s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；T为温度。[0018] 根据本发明的一个实施例，根据所述加速度计零偏温度系数和所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数获得所述MEMS惯组加速度通道零偏温度系数的方法包括以下步骤：[0019] 检测MEMS惯组加速度通道常温标定时的实时温度Tc；[0020] 根据所述温度Tc和所述加速度计的零偏温度模型获取加速度计在温度Tc时的零偏值；[0021] 根据所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的加速度通道零偏、所述加速度计零偏温度系数中的加速度计的常数项温度系数、加速度计的1次项温度系数、加速度计的2次项温度系数以及所述加速度计在温度Tc时的零偏值进行计算得到MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；[0022] 根据所述加速度计零偏温度系数中的加速度计零偏的1次项温度系数和加速度计零偏的2次项温度系数可直接获得所述MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数和MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；[0023] 根据本发明的一个实施例，所述MEMS惯组加速度通道零偏温度系数包括MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数。[0024] 根据本发明的一个实施例，所述MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数包括所述MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的加速度通道标度因数、i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差、MEMS惯组加速度通道零偏温度系数中的MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数和MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数。[0025] 根据本发明的一个实施例，获取MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数包括建立MEMS惯组角速度通道常温标定模型，根据所述MEMS惯组角速度通道常温标定模型获取MEMS惯组角速度通道常温标定参数作为MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数。[0026] 根据本发明的一个实施例，所述MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数包括MEMS惯组角速度通道常温标定参数中的角速度通道标度因数、角速度通道零偏以及i轴角速度通道与j轴角速度通道之间的安装误差。[0027] 本发明具有以下有益效果：[0028] 本发明只需对MEMS惯组进行常温标定，并通过惯性器件自身参数的温度特性，建立惯组的免高低温标定模型，即可满足惯组全温工作要求，整个标定流程只需0.5小时，大幅度缩短量标定时间，节约生产成本。本发明所涉及的MEMS惯组免高低温标定方法，为MEMS惯组的标定提供了新的思路和方案，具有标定时间短、效率高、精度高的优点。本发明在惯性技术领域具有广阔的应用前景。附图说明[0029] 图1示出本发明MEMS惯组免高低温标定方法的流程示意图。具体实施方式[0030] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明，即所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。[0031] 本发明只需对MEMS惯组进行常温标定，并通过惯性器件自身参数的温度特性，建立惯组的免高低温标定模型，即可满足惯组全温工作要求。[0032] 具体地，如图1所示，本实施例提供一种MEMS惯组免高低温标定方法，MEMS惯组精度的主要影响因素是加速度通道零偏的温度特性，而加速度通道标度因数的温度特性、角速度通道标度因数的温度特性、角速度通道零偏的温度特性对惯组精度影响较小。因此本发明主要针对MEMS惯组加速度通道零偏的温度特性进行建模，该模型对加速度通道的标度因数、角速度通道的标度因数、角速度通道的零偏同样适用。[0033] 1、MEMS惯组加速度通道的标定[0034] 加速度通道的标定参数有标度因数、零偏和安装误差，温度对加速度计标定参数的影响主要体现在标度因数和零偏上，本发明涉及的MEMS惯组零偏受温度影响较大，标度因数受温度影响较小，所以在方法设计时不考虑温度对标度因数、安装误差的影响。加速度通道免高低温标定方法的主要实现方案如下：[0035] S10、获取MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数，包括：[0036] 对MEMS惯组加速度通道进行常温标定，其常温标定模型为：[0037] ；[0038] 式中，KAx、KAy、KAz分别为x轴、y轴、z轴加速度通道标度因数；DAx、DAy、DAz分别为x轴、y轴、z轴加速度通道零偏；EAij为i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差，i=（x，y，z），j=（x，y，z）；NAx、NAy、NAz分别为x轴、y轴、z轴加速度通道输出脉冲（LSB）；ax、ay、az分别为x轴、y轴、z轴加速度通道输入加速度。[0039] 通过进行MEMS惯组加速度通道常温标定可以得到MEMS惯组加速度通道常温标定参数。MEMS惯组加速度通道常温标定参数包括，加速度通道标度因数、加速度通道零偏以及i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差。[0040] 具体地，加速度通道标度因数为KAx、KAy、KAz，加速度通道零偏为DAx、DAy、DAz，i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差EAij。[0041] 在MEMS惯组加速度通道常温标定时检测实时状态下的温度，得到温度Tc。[0042] 常温一般指的是15℃ 35℃。~[0043] S20、建立加速度计零偏温度模型：[0044] ；[0045] 式中，Dax、Day、Daz分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏；Xax0、Xay0、Xaz0分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的常数项温度系数；Xax1、Xay1、Xaz1分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的1次项温度系数；Xax2、Xay2、Xaz2分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的2次项温度系数；T为温度。[0046] 根据加速度计厂家提供的加速度计零偏数据与加速度计零偏温度模型获取加速度计零偏温度系数。加速度计在出厂前，会进行全温的标度因数和零偏测试，全温指的是温度包括但不限于‑45℃ 70℃，根据加速度计零偏数据可以获得加速度计零偏温度系数，加~速度计零偏温度系数包括加速度计零偏的常数项温度系数、加速度计零偏的1次项温度系数、加速度计零偏的2次项温度系数。[0047] S30、建立MEMS惯组加速度通道零偏温度模型：[0048] ；[0049] 式中，DAxs、DAys、DAzs分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏；Xax0s、Xay0s、Xaz0s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；Xax1s、Xay1s、Xaz1s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数；Xax2s、Xay2s、Xaz2s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；T为温度。[0050] 在本实施例中，MEMS惯组加速度通道零偏温度模型具有指示MEMS惯组加速度通道零偏温度系数包括MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数和MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数的作用。[0051] 根据加速度计零偏温度系数和MEMS惯组加速度通道常温标定参数获得MEMS惯组加速度通道零偏温度系数的方法包括以下步骤：[0052] 将温度Tc代入加速度计零偏温度模型中获得加速度计在温度Tc时的零偏值；[0053] 根据MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的加速度通道零偏、加速度计零偏温度系数中的加速度计的常数项温度系数、加速度计的1次项温度系数、加速度计的2次项温度系数以及加速度计在温度Tc时的零偏值进行计算得到MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；具体地，MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数通过如下公式计算：[0054] ；[0055] 式中，Xax0s、Xay0s、Xaz0s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；Xax0、Xay0、Xaz0分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的常数项温度系数；DAx、DAy、DAz分别为x轴、y轴、z轴加速度通道零偏；Xax1、Xay1、Xaz1分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的1次项温度系数；Xax2、Xay2、Xaz2分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的2次项温度系数；Tc为加速度通道常温标定时检测得到。[0056] 根据加速度计零偏温度系数中的加速度计零偏的1次项温度系数和加速度计零偏的2次项温度系数可直接获得MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数和MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；具体地，以下给出公式体现该方式的实现，MEMS惯组加速度通道的1次项温度系数通过如下公式计算：[0057] ；[0058] 式中，Xax1s、Xay1s、Xaz1s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数；Xax1、Xay1、Xaz1分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的1次项温度系数。[0059] MEMS惯组加速度通道的2次项温度系数通过如下公式计算：[0060] ；[0061] 式中，Xax2s、Xay2s、Xaz2s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数；Xax2、Xay2、Xaz2分别为x轴、y轴、z轴加速度计零偏的2次项温度系数。[0062] 通过上述方式，既能获得包括MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数和MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数，从而可将不同温度代入MEMS惯组加速度通道零偏温度模型中，就能获得不同温度所对应的MEMS惯组加速度通道的零偏值。本实施例方法具有节省MEMS惯组加速度通道标定时间，以及提高工作效率的优点。[0063] S40、根据MEMS惯组加速度通道常温标定参数和MEMS惯组加速度通道零偏温度系数获取MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数；具体地，将MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的加速度通道标度因数、i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差以及MEMS惯组加速度通道零偏温度系数中的MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数、MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数作为MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数。在现场工作中，通过软件实时调用各参数即可实现MEMS惯组加速度通道的免高低温标定。[0064] 2、MEMS惯组角速度通道的标定[0065] 本发明涉及的角速度通道的标度因数和零偏受温度影响较小，只进行常温标定，用常温标定参数进行补偿就能满足全温工作范围的精度要求，因此只对角速度通道进行常温标定。角速度通道免高低温标定方法的主要实现方案如下。[0066] S50、获取MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数，具体地，包括：[0067] 建立MEMS惯组角速度通道常温标定模型，其常温标定模型为：[0068] ；[0069] 式中，KWx、KWy、KWz分别为x轴、y轴、z轴角速度通道标度因数；DWx、DWy、DWz分别为X轴、Y轴、Z轴角速度通道零偏；EWij表示i轴角速度通道与j轴角速度通道之间的安装误差，i=（x，y，z），j=（x，y，z）；NWx、NWy、NWz为分别为x轴、y轴、z轴角速度通道输出脉冲（LSB）；ωx、ωy、ωz分别为x轴、y轴、z轴角速度通道输入角速度。[0070] 通过进行MEMS惯组角速度通道常温标定可得到MEMS惯组角速度通道常温标定参数，MEMS惯组角速度通道常温标定参数包括，角速度通道标度因数、角速度通道零偏以及i轴角速度通道与j轴角速度通道之间的安装误差。具体地，角速度通道标度因数为KWx、KWy、KWz，角速度通道零偏为DWx、DWy、DWz，i轴角速度通道与j轴角速度通道之间的安装误差EWij。[0071] MEMS惯组角速度通道常温标定参数即可作为MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数，MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数包括MEMS惯组角速度通道常温标定参数中的角速度通道标度因数、角速度通道零偏以及i轴角速度通道与j轴角速度通道之间的安装误差。在现场工作中，通过软件实时调用各参数即可实现MEMS惯组角速度通道的免高低温标定。[0072] S60、根据MEMS惯组加速度通道免高低温标定参数和MEMS惯组角速度通道免高低温标定参数进行MEMS惯组在线补偿得到MEMS惯组加速度通道和角速度通道的惯性量输出。[0073] MEMS惯组加速度通道补偿模型为：[0074] ；[0075] 式中， 、 、 分别为补偿后的MEMS惯组X轴加速度通道、Y轴加速度通道、Z轴加速度通道输出，NAx、NAy、NAz分别为x轴、y轴、z轴加速度通道输出脉冲，T为实时测量的温度，KAx、KAy、KAz分别为MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的x轴、y轴、z轴加速度通道标度因数，EAij为MEMS惯组加速度通道常温标定参数中的i轴加速度通道与j轴加速度通道之间的安装误差，i=（x，y，z），j=（x，y，z），Xax0s、Xay0s、Xaz0s分别为x轴、y轴、z轴MEMS惯组加速度通道零偏的常数项温度系数；Xax1s、Xay1s、Xaz1s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的1次项温度系数；Xax2s、Xay2s、Xaz2s分别为MEMS惯组加速度通道零偏的2次项温度系数。KAx、KAy、KAz、EAij、Xax0s、Xay0s、Xaz0s、Xax1s、Xay1s、Xaz1s、Xax2s、Xay2s、Xaz2s为加速度通道免高低温标定参数。[0076] MEMS惯组角速度通道补偿模型为：[0077] ；[0078] 式中， 、 、 分别为补偿后的MEMS惯组X轴角速度通道、Y轴角速度通道、Z轴角速度通道输出，NWx、NWy、NWz分别为x轴、y轴、z轴角速度通道输出脉冲，KWx、KWy、KWz分别为MEMS惯组角速度通道常温标定参数中的x轴、y轴、z轴角速度通道标度因数，EWij为MEMS惯组角速度通道常温标定参数中的i轴角速度通道与j轴角速度通道之间的安装误差，i=（x，y，z），j=（x，y，z），DWx、DWy、DWz分别为MEMS惯组角速度通道常温标定参数中的X轴、Y轴、Z轴角速度通道零偏。KWx、KWy、KWz、EWij、DWx、DWy、DWz为角速度通道免高低温标定参数。[0079] 本发明只需对MEMS惯组进行常温标定，并通过惯性器件自身参数的温度特性，建立惯组的免高低温标定模型，即可满足惯组全温工作要求，整个标定流程只需0.5小时，大幅度缩短量标定时间，节约生产成本。该方法对惯组批量生产具有重要意义。[0080] 以上所述实施例仅表达了本申请的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请技术方案构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。

专利地区：贵州

专利申请日期：2024-04-16

专利公开日期：2024-07-26

专利公告号：CN118050029B