一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置实用新型专利

摘要：本实用新型涉及一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置。该装置的电子束熔炼室包括吸附板(2)、电子枪(3，4，5)、左右水平水冷铜坩埚(7，15)，其上设置有溢流口(10，14)，三把电子枪分别垂直安装在电子束熔炼室的上壁，左水平水冷铜坩埚(7)与第一移动丝杠机构(16)相连接，右水平水冷铜坩埚(15)，与第二移动丝杠机构(28)相连接，第一、第二移动丝杠机构(16，28)分别与熔炼室外壁的电机相连接，左右水平水冷铜坩埚(7，15)的底部分别安装有第一滑轮(17)和第二滑轮(27)，在熔炼室上壁的左右两侧各设置有第一原料入口(1)和第二原料入口(6)。本实用新型解决了现有的电子束熔炼技术效率低、定向除杂效果不理想的问题，提供了一种提高电子束熔炼效率，消除新加入硅料熔化时对已扫描脱磷硅液的污染，提高了生产效率。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201120191186.5

专利申请（专利权）人：宁夏银星多晶硅有限责任公司

专利发明（设计）人：刘应宽;盛之林;刘振远;郑杰;尹中荣;蒋宁雄;刘永贵

主权项：一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置，该装置上部分为电子束熔炼室，下部分为定向凝固室，室壁为双层水冷结构，其特征在于电子束熔炼室包括吸附板(2)、电子枪(3，4，5)、左右水平水冷铜坩埚(7，15)，其上设置有溢流口(10，14)，三把电子枪分别垂直安装在电子束熔炼室的上壁，左水平水冷铜坩埚(7)与第一移动丝杠机构(16)相连接，右水平水冷铜坩埚(15)，与第二移动丝杠机构(28)相连接，第一、第二移动丝杠机构(16，28)分别与熔炼室外壁的电机相连接，左右水平水冷铜坩埚(7，15)的底部分别安装有第一滑轮(17)和第二滑轮(27)，在熔炼室上壁的左右两侧各设置有第一原料入口(1)和第二原料入口(6)，送料机构安装在第一、第二原料入口(1，6)的上端，水冷铸锭坩埚(19)安装在定向凝固室中，水冷盘(21)安装在水冷铸锭坩埚(19)的底部，并与出锭顶升机构(22)相连接，进水管(23)和出水管(24)与位于水冷铸锭坩埚(19)底部的水冷盘(21)相连通，电子束熔炼室的后方配置有高真空系统、送料仓(35)、电控柜(37)、操作台(38)、高压电源(39)和循环水冷系统(40)。

专利地区：宁夏