电主轴及电主轴维护方法发明专利

专利名称：电主轴及电主轴维护方法

专利类型：发明专利

专利申请号：CN202411302972.6

专利申请（专利权）人：浙江晶鸿精密机械制造有限公司
权利人地址：浙江省绍兴市上虞区经济开发区通江西路218号

专利发明（设计）人：曹建伟,朱亮,傅林坚,张俊,沈兴潮,董医芳

专利摘要：本发明提供了一种电主轴及电主轴维护方法，属于电主轴技术领域，解决了现有技术电气浮主轴的稳定性较差的问题。本申请的电主轴包括机壳、转子、定子以及气浮轴承，转子安装于机壳内，转子在机壳内具有转动自由度；定子固定安装于机壳内，且定子套设于转子外侧；气浮轴承安装于机壳内，用于支撑转子，气浮轴承包括：轴承本体、第一气体通道以及活动件，第一气体通道设置于轴承本体上，第一气体通道与转子之间形成有气膜以承载转子；活动件设置于轴承本体与气膜之间，活动件具有活动自由度以调整气膜的厚度。本申请通过在气浮轴承上设置可活动的活动件，使得转子与活动件之间的间隙可调，从而自由控制气膜的厚度，以此维持承载稳定性。

主权利要求：
1.一种电主轴，其特征在于，包括：
机壳(100)；
转子(200)，所述转子(200)安装于所述机壳(100)内，所述转子(200)在所述机壳(100)内具有转动自由度；
定子(300)，所述定子(300)固定安装于所述机壳(100)内，且所述定子(300)套设于所述转子(200)外侧；以及气浮轴承(400)，所述气浮轴承(400)安装于所述机壳(100)内，用于支撑所述转子(200)，所述气浮轴承(400)包括：轴承本体(410)；
第一气体通道(420)，所述第一气体通道(420)设置于所述轴承本体(410)上，所述第一气体通道(420)与所述转子(200)之间形成有气膜(F)以承载所述转子(200)；
活动件(430)，所述活动件(430)设置于所述轴承本体(410)与所述气膜(F)之间，所述活动件(430)具有活动自由度以调整所述气膜(F)的厚度；
所述轴承本体(410)内还设有支撑部(440)，所述活动件(430)活动连接于支撑部(440)，且所述活动件(430)与所述支撑部(440)之间形成有腔室(450)，所述腔室(450)连通有第二气体通道(460)，所述第二气体通道(460)可向所述腔室(450)通气或抽气以驱动所述活动件(430)活动；
所述活动件(430)与所述支撑部(440)之间通过弹性件(470)连接，所述弹性件(470)以供所述活动件(430)弹性活动；
所述第二气体通道(460)上设有第一通孔(461)和第二通孔(462)，所述第一通孔(461)用于连通所述第二气体通道(460)与所述腔室(450)，所述第二通孔(462)用于连通所述第二气体通道(460)与所述气膜(F)；
所述第二通孔(462)具有第一状态和第二状态，所述第一状态下，所述第二通孔(462)与所述腔室(450)连通；所述第二状态下，所述第二通孔(462)与所述气膜(F)连通，所述第二通孔(462)的第一状态和第二状态由所述活动件(430)活动切换。
2.根据权利要求1所述的电主轴，其特征在于，所述第二通孔(462)的孔径不小于3微米。
3.根据权利要求1所述的电主轴，其特征在于，还包括转速检测单元(500)，所述转速检测单元(500)作用于所述转子(200)以检测所述转子(200)的转速，且所述第二气体通道(460)外接有控气件(600)，所述控气件(600)与所述转速检测单元(500)通信连接。
4.一种电主轴维护方法，应用于权利要求1‑3任意一项所述的电主轴，其特征在于，包括以下步骤：获取转子(200)的转速；
基于转子(200)的转速，识别判断气膜(F)状态；
根据气膜(F)状态，执行气膜(F)调整操作或正常供气操作，所述气膜(F)调整操作包括：调整活动件(430)的位置。
5.根据权利要求4所述的电主轴维护方法，其特征在于，所述基于转子(200)的转速，识别判断气膜(F)状态包括：转子(200)的实际转速V≥第一标准转速V1，则确定气膜(F)处于正常状态；
转子(200)的实际转速V<第一标准转速V1，则确定气膜(F)处于异常状态；
其中，所述异常状态包括气膜(F)收缩和气膜(F)堵塞。
6.根据权利要求5所述的电主轴维护方法，其特征在于，所述气膜(F)堵塞时，执行以下步骤：调整活动件(430)的位置，以使堵塞颗粒具有脱离气膜(F)的趋势；
执行抽气操作，将气膜(F)的堵塞颗粒抽离气浮轴承(400)。 说明书 : 电主轴及电主轴维护方法技术领域[0001] 本发明属于电主轴技术领域，具体而言，涉及一种电主轴及电主轴维护方法。背景技术[0002] 电主轴是电动机与主轴融合在一起的产物，电动机的转子即为主轴的旋转部分，理论上可以把电主轴看作一台高速电动机；其中，电气浮主轴作为一种高精度的加工件，被运用在如晶圆薄化等对于精度和承载性能都有较高要求的设备中，作为晶圆薄化等设备中的核心零部件，在加工过程中，对电气浮主轴的端面以及轴向跳动量要求控制在纳米级别。[0003] 现有的电气浮主轴的精度通常与电气浮主轴中气浮轴承的性能相关，其工作原理是在气浮轴承与相对的运动平面之间形成气膜，气膜将气浮轴承顶起而使其处于悬浮状态，对主轴起到润滑和支撑的作用。气浮轴承在使用过程中需要依靠供气源进行供气，然而供气源中不可避免含有部分微小杂质，长久使用后，容易造成气膜收缩甚至堵塞，降低电气浮主轴的稳定性。[0004] 基于上述内容，本申请要解决的技术问题是：如何提高电气浮主轴的稳定性。发明内容[0005] 本发明的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种电主轴及电主轴维护方法，解决了现有技术电气浮主轴的稳定性较差的问题。本申请方案的技术效果是：提高电气浮主轴的稳定性。[0006] 本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种电主轴，包括：机壳；转子，所述转子安装于所述机壳内，所述转子在所述机壳内具有转动自由度；定子，所述定子固定安装于所述机壳内，且所述定子套设于所述转子外侧；以及气浮轴承，所述气浮轴承安装于所述机壳内，用于支撑所述转子，所述气浮轴承包括：轴承本体；第一气体通道，所述第一气体通道设置于所述轴承本体上，所述第一气体通道与所述转子之间形成有气膜以承载所述转子；活动件，所述活动件设置于所述轴承本体与所述气膜之间，所述活动件具有活动自由度以调整所述气膜的厚度。[0007] 可以理解的是，机壳用于装载转子、定子以及气浮轴承，转子在定子的作用下得以旋转，气浮轴承可以与转子之间形成气膜，从而利用气膜承载支撑转子，并且气膜由空气形成，转子的转动摩擦力较小，可以输出较高的转速以满足各种加工设备的需求。其中，气浮轴承内设有第一气体通道，通过设置第一气体通道以通入气体，气体经过转子与气浮轴承的间隙而形成气膜，再由气浮轴承的两侧流出。本申请通过在气浮轴承上设置可活动的活动件，使得转子与活动件之间的间隙可调，从而自由控制气膜的厚度。当气膜收缩或者堵塞时，可以增加活动件与转子的间隙，从而增加该间隙的气流流量，快速将杂质颗粒清除，并且，当气膜厚度过大呈现不稳定时，同样可以减小活动件与转子的间隙，从而减小该间隙的气体流量，以此维持承载稳定性。需要注意的是，活动件优选为平板状或块状，活动件上靠近气膜的一面为平面，以此保证活动件与转子之间的气膜受力均匀。[0008] 在上述的电主轴中，所述轴承本体内还设有支撑部，所述活动件活动连接于支撑部，且所述活动件与所述支撑部之间形成有腔室，所述腔室连通有第二气体通道，所述第二气体通道可向所述腔室通气或抽气以驱动所述活动件活动。可以理解的是，通过第二气体通道执行通气操作，可以增加腔室的气压，从而利用气压驱动活动件向靠近气膜方向活动以减小气膜厚度；第二气体通过执行抽气操作，可以减小腔室的气压，从而利用气体负压驱动活动件向远离气膜方向活动以增加气膜厚度。[0009] 在上述的电主轴中，所述活动件与所述支撑部之间通过弹性件连接，所述弹性件以供所述活动件弹性活动。可以理解的是，通过利用弹性件将活动件与支撑部连接，可以防止活动件受到气压作用而脱离轴承本体，并且，弹性件还具有弹性恢复的特性，可以缓冲气压作用。[0010] 在上述的电主轴中，所述第二气体通道上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔用于连通所述第二气体通道与所述腔室，所述第二通孔用于连通所述第二气体通道与所述气膜。可以理解的是，气体可经第二气体通道、第一通孔至腔室实现增压，或由腔室至第一通孔、第二气体通道抽出实现减压，气膜处的气体可经过第二通孔、第二气体通道后脱离气浮轴承。[0011] 在上述的电主轴中，所述第二通孔具有第一状态和第二状态，所述第一状态下，所述第二通孔与所述腔室连通，所述第二状态下，所述第二通孔与所述气膜连通，所述第二通孔的第一状态和第二状态由所述活动件活动切换。可以理解的是，第一状态下，活动件的位置更靠近气膜，气膜厚度较小，活动件相较于第二通孔更远离第一通孔，或者活动件端部封堵第二通孔，保证气膜无法与第二通孔相通，且腔室体积较大；第二状态下，活动件的位置更靠近第一通孔且远离气膜，气膜厚度较大，活动件位于第二通孔与第一通孔之间，保证气膜与第二通孔相通，且腔室体积减小，第二通孔无法与腔室连通。第一状态下，腔室的气体可同时从第一通孔和第二通孔进入第二气体通道，或者仅从第一通孔进入第二气体通道，第二状态下，气膜处的气体经过第二通孔、第二气体通道后排出至轴承本体外。[0012] 在上述的电主轴中，所述第二通孔的孔径不小于3微米。可以理解的是，当第二通孔的孔径不小于3微米时，可以允许微小杂质颗粒通过，从而进入第二气体通道后排出至气浮轴承外。[0013] 在上述的电主轴中，还包括转速检测单元，所述转速检测单元作用于所述转子以检测所述转子的转速，且所述第二气体通道外接有控气件，所述控气件与所述转速检测单元通信连接。可以理解的是，控气件用于向第二气体通道通入气体或从第二气体通道抽离气体，控气件的操作取决于转速检测单元的检测信息，当转速检测单元检测到转子的转速为异常时，表征气膜厚度较小或气膜堵塞，需要执行抽离气体操作，当转速检测单元检测到转子的转速为正常时，表征气膜厚度正常，向第二气体通道内注入适量气体后，维持腔室内的气压平衡即可。在一些实施方式中，转速检测单元还可与定子或定子的驱动件通信连接，通过向定子或定子的驱动件发送堵塞信号，从而停止驱动转子转动，避免电主轴卡死损伤。[0014] 本发明的另一目的还在于提供一种电主轴维护方法，应用于前述的电主轴，具体包括以下步骤：[0015] 获取转子的转速；[0016] 基于转子的转速，识别判断气膜状态；[0017] 根据气膜状态，执行气膜调整操作或正常供气操作，所述气膜调整操作包括：调整活动件的位置。[0018] 可以理解的是，由于气膜厚度减小，会增加转子的转动摩擦力，从而降低转子的转速，通过获取转子的转速信息，可以判断气膜的状态，基于气膜状态，可以执行不同的操作，如气膜调整操作或正常供气操作。具体的，气膜调整操作可以是调整活动件的位置，从而调整活动件与转子之间的间隙，从而调整气膜厚度。[0019] 在上述的电主轴维护方法中，所述基于转子的转速，识别判断气膜状态包括：[0020] 转子的实际转速V≥第一标准转速V1，则确定气膜处于正常状态；[0021] 转子的实际转速V<第一标准转速V1，则确定气膜处于异常状态；[0022] 其中，所述异常状态包括气膜收缩和气膜堵塞。[0023] 可以理解的是，设定一个第一标准转速V1，当气膜处于正常状态下，转子的实际转速V大于等于第一标准转速V1，当气膜处于异常状态下，转子的实际转速V低于第一标准转速V1。异常状态还包括气膜收缩和气膜堵塞两种状况，其中，气膜堵塞是极限情况，转子的实际转速远小于第一标准转速V1，但大于气膜收缩下的转速，在一些实施方式中，也可以设定第二标准转速V2以区法判断是否为气膜收缩或气膜堵塞。[0024] 在上述的电主轴维护方法中，所述气膜堵塞时，执行以下步骤：[0025] 调整活动件的位置，以使堵塞颗粒具有脱离气膜的趋势；[0026] 执行抽气操作，将气膜的堵塞颗粒抽离气浮轴承。[0027] 可以理解的是，通过调整活动件的位置，以形成一条可供堵塞颗粒脱离气膜的通道，从而具有脱离气膜的趋势，具体的，执行抽气操作可以从第二气体通道抽气，使得堵塞颗粒从第二气体通道脱离。[0028] 与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：[0029] 1、本申请通过在气浮轴承上设置可活动的活动件，使得转子与活动件之间的间隙可调，从而自由控制气膜的厚度，当气膜收缩或者堵塞时，可以增加活动件与转子的间隙，从而增加该间隙的气流流量，快速将杂质颗粒清除，并且，当气膜厚度过大呈现不稳定时，同样可以减小活动件与转子的间隙，从而减小该间隙的气体流量，以此维持承载稳定性；[0030] 2、本申请利用弹性件将活动件与支撑部连接，可以防止活动件受到气压作用而脱离轴承本体，并且，弹性件还具有弹性恢复的特性，可以缓冲气压作用；[0031] 3、本申请通过第二通孔与活动件配合，以使第二通孔在第一状态和第二状态之间进行切换，第二状态下，可以将第二通孔与气膜接通，气膜处的堵塞颗粒可被第二气体通道的负压吸入，并从轴承本体外侧排出，降低堵塞清理难度，延长了电主轴的使用寿命；[0032] 4、本申请通过设置转速检测单元与控气件通信连接，转速检测单元获取转子转速，并发送控气件，配合控气件控制第二气体通道执行抽气/通气操作，保证电主轴工作状态的稳定性。附图说明[0033] 图1是本发明电主轴的第一状态结构示意图；[0034] 图2是图1中A部分放大后的结构示意图；[0035] 图3是本发明电主轴的第二状态结构示意图；[0036] 图4是图3中B部分放大后的结构示意图；[0037] 图5是本发明电主轴维护方法的流程示意图一；[0038] 图6是本发明电主轴维护方法的流程示意图二；[0039] 图中，100、机壳；200、转子；300、定子；400、气浮轴承；410、轴承本体；420、第一气体通道；430、活动件；440、支撑部；450、腔室；460、第二气体通道；461、第一通孔；462、第二通孔；470、弹性件；F、气膜；500、转速检测单元；600、控气件。具体实施方式[0040] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。[0041] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。[0042] 此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。[0043] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。[0044] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。[0045] 需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。[0046] 请参照说明书附图的图1和图2，本申请的电主轴包括：机壳100、转子200、定子300以及气浮轴承400，转子200安装于机壳100内，转子200在机壳100内具有转动自由度；定子300固定安装于机壳100内，且定子300套设于转子200外侧；气浮轴承400安装于机壳100内，用于支撑转子200，气浮轴承400包括：轴承本体410、第一气体通道420以及活动件430，第一气体通道420设置于轴承本体410上，第一气体通道420与转子200之间形成有气膜F以承载转子200；活动件430设置于轴承本体410与气膜F之间，活动件430具有活动自由度以调整气膜F的厚度。[0047] 可以理解的是，机壳100用于装载转子200、定子300以及气浮轴承400，转子200在定子300的作用下得以旋转，气浮轴承400可以与转子200之间形成气膜F，从而利用气膜F承载支撑转子200，并且气膜F由空气形成，转子200的转动摩擦力较小，可以输出较高的转速以满足各种加工设备的需求。其中，气浮轴承400内设有第一气体通道420，通过设置第一气体通道420以通入气体，气体经过转子200与气浮轴承400的间隙而形成气膜F，再由气浮轴承400的两侧流出。本申请通过在气浮轴承400上设置可活动的活动件430，使得转子200与活动件430之间的间隙可调，从而自由控制气膜F的厚度。当气膜F收缩或者堵塞时，可以增加活动件430与转子200的间隙，从而增加该间隙的气流流量，快速将杂质颗粒清除，并且，当气膜F厚度过大呈现不稳定时，同样可以减小活动件430与转子200的间隙，从而减小该间隙的气体流量，以此维持承载稳定性。需要注意的是，活动件430优选为平板状或块状，活动件430上靠近气膜F的一面为平面，以此保证活动件430与转子200之间的气膜F受力均匀。[0048] 在一些实施方式中，轴承本体410内还设有支撑部440，活动件430活动连接于支撑部440，且活动件430与支撑部440之间形成有腔室450，腔室450连通有第二气体通道460，第二气体通道460可向腔室450通气或抽气以驱动活动件430活动。可以理解的是，通过第二气体通道460执行通气操作，可以增加腔室450的气压，从而利用气压驱动活动件430向靠近气膜F方向活动以减小气膜F厚度；参见图3和图4，第二气体通过执行抽气操作，可以减小腔室450的气压，从而利用气体负压驱动活动件430向远离气膜F方向活动以增加气膜F厚度。[0049] 在一些实施方式中，活动件430与支撑部440之间通过弹性件470连接，弹性件470以供活动件430弹性活动。可以理解的是，通过利用弹性件470将活动件430与支撑部440连接，可以防止活动件430受到气压作用而脱离轴承本体410，并且，弹性件470还具有弹性恢复的特性，可以缓冲气压作用。[0050] 在一些实施方式中，第二气体通道460上设有第一通孔461和第二通孔462，第一通孔461用于连通第二气体通道460与腔室450，第二通孔462用于连通第二气体通道460与气膜F。可以理解的是，气体可经第二气体通道460、第一通孔461至腔室450实现增压，或由腔室450至第一通孔461、第二气体通道460抽出实现减压，气膜F处的气体可经过第二通孔462、第二气体通道460后脱离气浮轴承400。[0051] 如图2和图4所示，在一些实施方式中，第二通孔462具有第一状态和第二状态，第一状态下，第二通孔462与腔室450连通，第二状态下，第二通孔462与气膜F连通，第二通孔462的第一状态和第二状态由活动件430活动切换。可以理解的是，第一状态下，活动件430的位置更靠近气膜F，气膜F厚度较小，活动件430相较于第二通孔462更远离第一通孔461，或者活动件430端部封堵第二通孔462，保证气膜F无法与第二通孔462相通，且腔室450体积较大；第二状态下，活动件430的位置更靠近第一通孔461且远离气膜F，气膜F厚度较大，活动件430位于第二通孔462与第一通孔461之间，保证气膜F与第二通孔462相通，且腔室450体积减小，第二通孔462无法与腔室450连通。第一状态下，腔室450的气体可同时从第一通孔461和第二通孔462进入第二气体通道460，或者仅从第一通孔461进入第二气体通道460，第二状态下，气膜F处的气体经过第二通孔462、第二气体通道460后排出至轴承本体410外。[0052] 在一些实施方式中，第二通孔462的孔径不小于3微米。可以理解的是，当第二通孔462的孔径不小于3微米时，可以允许微小杂质颗粒通过，从而进入第二气体通道460后排出至气浮轴承400外。[0053] 在一些实施方式中，还包括转速检测单元500，转速检测单元500作用于转子200以检测转子200的转速，且第二气体通道460外接有控气件600，控气件600与转速检测单元500通信连接。可以理解的是，控气件600用于向第二气体通道460通入气体或从第二气体通道460抽离气体，控气件600的操作取决于转速检测单元500的检测信息，当转速检测单元500检测到转子200的转速为异常时，表征气膜F厚度较小或气膜F堵塞，需要执行抽离气体操作，当转速检测单元500检测到转子200的转速为正常时，表征气膜F厚度正常，向第二气体通道460内注入适量气体后，维持腔室450内的气压平衡即可。在一些实施方式中，转速检测单元500还可与定子300或定子300的驱动件通信连接，通过向定子300或定子300的驱动件发送堵塞信号，从而停止驱动转子200转动，避免电主轴卡死损伤。[0054] 参见图5，本发明的另一目的还在于提供一种电主轴维护方法，应用于本发明的电主轴，具体包括以下步骤：[0055] S100、获取转子200的转速；[0056] S200、基于转子200的转速，识别判断气膜F状态；[0057] S300、根据气膜F状态，执行气膜F调整操作或正常供气操作，气膜F调整操作包括：调整活动件430的位置。[0058] 可以理解的是，由于气膜F厚度减小，会增加转子200的转动摩擦力，从而降低转子200的转速，通过获取转子200的转速信息，可以判断气膜F的状态，基于气膜F状态，可以执行不同的操作，如气膜F调整操作或正常供气操作。具体的，气膜F调整操作可以是调整活动件430的位置，从而调整活动件430与转子200之间的间隙，从而调整气膜F厚度。[0059] 在一些实施方式中，S200、基于转子200的转速，识别判断气膜F状态包括：[0060] S200a、转子200的实际转速V≥第一标准转速V1，则确定气膜F处于正常状态；[0061] S200b、转子200的实际转速V<第一标准转速V1，则确定气膜F处于异常状态；[0062] 其中，异常状态包括气膜F收缩和气膜F堵塞。[0063] 可以理解的是，设定一个第一标准转速V1，当气膜F处于正常状态下，转子200的实际转速V大于等于第一标准转速V1，当气膜F处于异常状态下，转子200的实际转速V低于第一标准转速V1。异常状态还包括气膜F收缩和气膜F堵塞两种状况，其中，气膜F堵塞是极限情况，转子200的实际转速远小于第一标准转速V1，但大于气膜F收缩下的转速，在一些实施方式中，也可以设定第二标准转速V2以区法判断是否为气膜F收缩或气膜F堵塞。[0064] 参见图6，在一些实施方式中，气膜F堵塞时，执行以下步骤：[0065] S210b、调整活动件430的位置，以使堵塞颗粒具有脱离气膜F的趋势；[0066] S220b、执行抽气操作，将气膜F的堵塞颗粒抽离气浮轴承400。[0067] 可以理解的是，通过调整活动件430的位置，以形成一条可供堵塞颗粒脱离气膜F的通道，从而具有脱离气膜F的趋势，具体的，执行抽气操作可以从第二气体通道460抽气，使得堵塞颗粒从第二气体通道460脱离。[0068] 有益效果：[0069] 本申请通过在气浮轴承400上设置可活动的活动件430，使得转子200与活动件430之间的间隙可调，从而自由控制气膜F的厚度，当气膜F收缩或者堵塞时，可以增加活动件430与转子200的间隙，从而增加该间隙的气流流量，快速将杂质颗粒清除，并且，当气膜F厚度过大呈现不稳定时，同样可以减小活动件430与转子200的间隙，从而减小该间隙的气体流量，以此维持承载稳定性；利用弹性件470将活动件430与支撑部440连接，可以防止活动件430受到气压作用而脱离轴承本体410，并且，弹性件470还具有弹性恢复的特性，可以缓冲气压作用；通过第二通孔462与活动件430配合，以使第二通孔462在第一状态和第二状态之间进行切换，第二状态下，可以将第二通孔462与气膜F接通，气膜F处的堵塞颗粒可被第二气体通道460的负压吸入，并从轴承本体410外侧排出，降低堵塞清理难度，延长了电主轴的使用寿命；通过设置转速检测单元500与控气件600通信连接，转速检测单元500获取转子200转速，并发送控气件600，配合控气件600控制第二气体通道460执行抽气/通气操作，保证电主轴工作状态的稳定性。[0070] 本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

专利地区：浙江

专利申请日期：2024-09-18

专利公开日期：2024-11-29

专利公告号：CN118808688B