改进的数控硅块双平面研磨机实用新型专利

摘要：本实用新型提供了一种改进的数控硅块双平面研磨机，包括床身、工作台、滑鞍、滑板、磨头，所述床身中间有直线导轨、滚珠丝杆，所述工作台安装在直线导轨、滚珠丝杆上，所述滑鞍有一对，安装在床身左右两边，所述滑鞍上有直线导轨、滚珠丝杆，所述滑板通过直线导轨、滚珠丝杆安装在所述滑鞍上，所述磨头分别安装在滑板上，其特征在于：所述磨头包括金刚砂精磨磨头、金刚毛刷柔性研磨磨头，所述金刚砂精磨磨头、金刚毛刷研磨磨头沿着所述数控硅块双平面研磨机进料方向依次布置。同时采用金刚砂精磨磨头和金刚毛刷研磨磨头，提高了研磨效率，减少了毛刷的消耗量，提高了硅片的成品率，使加工硅块只需保留很少的加工余量，节省了原材料。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201020513100.1

专利申请（专利权）人：无锡上机数控股份有限公司

专利发明（设计）人：杨建良

主权项：一种改进的数控硅块双平面研磨机包括床身、工作台、滑鞍、滑板、磨头，所述床身中间有直线导轨、滚珠丝杆，所述工作台安装在直线导轨、滚珠丝杆上，所述滑鞍有一对，安装在床身左右两边，所述滑鞍上有直线导轨、滚珠丝杆，所述滑板通过直线导轨、滚珠丝杆安装在所述滑鞍上，所述磨头分别安装在滑板上，其特征在于：所述磨头包括金刚砂精磨磨头、金刚毛刷柔性研磨磨头，所述金刚砂精磨磨头、金刚毛刷研磨磨头沿着所述数控硅块双平面研磨机进料方向依次布置。

专利地区：江苏